☆ 4.5 Article

The application of molecular dynamics to the study of plasma–surface interactions: CFxwith silicon

INTERNATIONAL REVIEWS IN PHYSICAL CHEMISTRY (2008)

期刊

INTERNATIONAL REVIEWS IN PHYSICAL CHEMISTRY

卷 27, 期 2, 页码 229-271

出版社

Informa UK Limited

DOI: 10.1080/01442350801928014

关键词

-

类别

Chemistry, Physical

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